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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "林榮慶".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="近場光學微影加工"


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    近場光學微影加工製程及非破壞方法逆解光纖探針口徑研究
    • 機械工程系 /94/ 博士
    • 研究生: 楊慶彬 指導教授:
    • 本文主要的研究目的在探討近場光學微影加工製程及非破壞方法逆解光纖探針口徑之相關研究。首先對光纖探針近場的分析,本文以近區輻射場理論做為分析光纖探針近場之理論模式,分析探討裸光纖探針及鍍鋁層探針的近場…
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